報(bào) 告 簡 介 |
報(bào)告內(nèi)容簡介: (1)新一代半導(dǎo)體基片低損傷超光滑表面形成機(jī)理,; (2)用于高硬脆半導(dǎo)體基片的聚集體磨料及研拋工藝優(yōu)化; (3)面向基片加工過程的實(shí)時(shí)多維感知監(jiān)控方法,; (4)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體基片智能產(chǎn)線運(yùn)行模式,。
報(bào)告人簡介: 左敦穩(wěn),,南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院教授、博士生導(dǎo)師,,享受國務(wù)院政府特殊津貼,,國防工業(yè)“511人才工程”學(xué)術(shù)技術(shù)帶頭人、江蘇省“333工程”高層次人才、江蘇省“青藍(lán)工程”新世紀(jì)學(xué)術(shù)帶頭人,,中國刀具協(xié)會(huì)切削先進(jìn)技術(shù)研究分會(huì)副理事長,,天津市緊固連接技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會(huì)主任。主要研究領(lǐng)域涉及機(jī)械制造及其自動(dòng)化,、材料加工工程等學(xué)科,,研究方向?yàn)榫芗庸ぁ⒊餐繉优c工具,、抗疲勞加工以及制造業(yè)信息化等,。主持國家自然科學(xué)基金5項(xiàng)、國防技術(shù)基礎(chǔ)與預(yù)研以及其它省部科技計(jì)劃等項(xiàng)目30余項(xiàng),;培養(yǎng)博士研究生30余名,,碩士研究生60余名;獲國家發(fā)明專利授權(quán)100余件,,發(fā)表學(xué)術(shù)論文400余篇,;獲國家科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)1項(xiàng),國家教學(xué)成果獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)1項(xiàng),、省部級(jí)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)2項(xiàng),、二等獎(jiǎng)5項(xiàng)。
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